Осаждение тонких пленок твердого электролита LiPON в парогазовой среде (Li3PO4/Ar-N2), активируемой дугой низкого давления - Каменецких, Александр Сергеевич; Гаврилов, Николай Васильевич; Ершов, Алексей Анатольевич; Третников, Петр Васильевич (Materials. Technologies. Design, 2023)
Тонкие пленки твердотельных литий-ионных электролитов перспективны для использования в малогабаритных автономных источниках питания для элементов микро- и наноэлектроники. Высокая скорость вакуумно-плазменного синтеза ( 0,5 мкм/ч) пленок фосфор-оксинитрида лития (LiPON) с ионной проводимостью 2·10–6 (Ом·см)–1 обеспечивается методом анодного испарения Li3PO4 в дуге низкого давления. На микроструктуру и ионную проводимость пленок LiPON в значительной степени влияет доля свободного лития в потоке пара, которая регулируется изменением частоты взаимодействия электронов с испаряемыми частицами. В данной работе представлены результаты исследования условий анодного испарения Li3PO4 в потоке электронов из плазмы разряда с самонакаливаемым полым катодом и влияния свободного лития в парогазовой смеси на свойства осаждаемых пленок LiPON.