ВЛИЯНИЕ УСЛОВИЙ РЕАКТИВНОГО АНОДНОГО ИСПАРЕНИЯ ТИТАНА В ПАРАХ ГЕКСАМЕТИЛДИСИЛАЗАНА НА СКОРОСТЬ ФОРМИРОВАНИЯ И ТВЕРДОСТЬ TISICN ПОКРЫТИЙ - Меньшаков, Андрей Игоревич; Брюханова, Юлия Андреевна; Скорынина, Полина Андреевна; Медведев, Анатолий Иванович (Materials. Technologies. Design, 2022)
В работе представлены результаты исследования влияния условий синтеза нанокомпозитных TiSiCN покрытий методом реактивного анодного испарения титана в парогазовой среде, содержащей пары гексаметилдисилазана, на скорость их формирования и микротвердость. Исследуемый метод получения покрытий, где в одной разрядной ячейке на основе самонакаливаемого полого катода осуществляется испарение титана и плазмохимическое разложение молекул кремнийорганического прекурсора в реактивной газовой среде, является перспективным, поскольку обеспечивает генерацию потока паров металла без микрокапель, независимое изменение в широких пределах таких условий синтеза, как состав и давление парогазовой смеси, потоки паров металла и прекурсора и степень их активации, плотность и энергию ионного потока на поверхность формирующегося покрытия. Показано, что данный метод обеспечивает высокие (до 10 мкм/ч) скорости синтеза нанокомпозитных TiSiCN покрытий с твердостью до 38–40 ГПа. Увеличение потока паров металла, паров прекурсора и тока разряда приводит к монотонному росту скорости формирования покрытий. При этом микротвердость покрытий снижается с ростом тока разряда с 10 до 50 А и немонотонно зависит от потока паров гексаметилдисилазана в диапазоне 0–1,5 г/ч, что связано с изменением химического состава и содержанием нанокристаллической фазы в составе покрытий.