Ленточный источник электронного пучка, функционирующий в широком диапазоне давлений - Климов, Александр Сергеевич; Бакеев, Илья Юрьевич; Дагри, Жоэль-Эрик; Долгова, Анна Викторовна; Зенин, Алексей Александрович; Окс, Ефим Михайлович (Materials. Technologies. Design, 2023)
Представлена конструкция и основные параметры электронного источника, формирующего ленточный электронный пучок в диапазоне давлений от 10–2 до 10 Па. Ток пучка достигает 450 мА при энергии электронов пучка до 8 кВ. Размеры электронного пучка в поперечном сечении 10×220 мм2. Рабочие газы – гелий, аргон, остаточная атмосфера. Расширение диапазона давлений обеспечивается использованием двух разрядных систем – основной и вспомогательной, между которыми существует перепад давлений. Вспомогательная разрядная система функционирует при давлении единицы паскаль и служит поставщиком заряженных частиц для поддержания разряда в основной системе, работающей в высоком вакууме. Как в основной, так и вспомогательной системах используются тлеющие разряды с полым катодом. Однородность распределения тока пучка по его сечению обеспечивается использованием специальной конструкции эмиссионного электрода, расположенного в аноде основной разрядной системы. Степень неоднородности распределения плотности тока электронного пучка не превышает 15% по длине. Полученные параметры электронного пучка являются перспективными с точки зрения генерации пучковой плазмы, инициирования пучково-плазменного разряда и использования его для реализации плазмохимической обработки материалов.